PFA 和 PTFE 区别? 哪个更适合半导体?

PFA (Perfluoroalkoxy) 和 PTFE 都是全氟聚合物, 但 PFA 可熔融加工 (熔体粘度低, 可注塑/挤出/吹塑), PTFE 只能模压。PFA 性能略低于 PTFE (耐温低 20°C, 260°C vs 280°C), 但加工性 100x 更好。半导体应用: PFA 管/接头/阀门 (高纯, 金属离子溶出 <1ppb), 用于超纯化学品输送 (湿法刻蚀/CMP)。DuPont Teflon PFA 440HP / Solvay Hyflon PFA 是主流。